Verfahren, bei dem Neutralteilchen, die durch kontrollierten Ionenbeschuss an einer Festkörperoberfläche ausgelöst werden, anschließend massenspektroskopisch analysiert werden.
Bei der Wechselwirkung von Ionen mit einem Festkörper beobachtet man neben der Reflexion und der Implantation der Primärionen die Zerstäubung des Festkörpers. Dabei wird der Festkörper selbst zur Quelle eines Partikelstroms aus geladenen und ungeladenen Atomen und Molekülen, welche im Wesentlichen aus den obersten Atomlagen des Festkörpers stammen.
Die entscheidenden Vorteile der SNMS gegenüber der Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS) liegen darin, dass bei SNMS durch das Prinzip der Nachionisierung der Ionisationsprozess vom Emissionsprozess entkoppelt ist. Erst dadurch wird eine einfache quantitative Zuordnung zwischen den SNMS-Signalen und der Probenstöchiometrie möglich.
Man unterscheidet bei der SNMS zwischen der direkten Beschussmethode (DBM), der separaten Beschussmethode (SBM) und der externen Beschussmethode (EBM).
Die SNMS ist ein sehr exaktes Analyseverfahren und hinsichtlich Präparationseinflüssen auf die Messergebnisse äußerst robust, wobei auch nichtleitende Proben (z. B. organische Stoffe) sicher analysiert werden können.
© 2013 – ECV – Lexikon der Pharmatechnologie