Ausführungsform der Auger-Analyse durch Rasterung eines fokusierten Primärelektronenstrahls. Dadurch können die Elementenverteilungen in dünnsten Schichten bzw. obersten Atomlagen mit hoher lateraler Auflösung analysiert werden.
Die SAM kann bei Ausnutzung der niederenergetischen Sekundärelektronen bzw. des lokal von der Probe absorbierten Primärelektronenstroms auch als Rasterelektronenmikroskop eingesetzt werden.
© 2013 – ECV – Lexikon der Pharmatechnologie