Die Vorlagenwasserqualität ist in der Regel deionisiertes Wasser, welches aus Stadtwasser über eine oder mehrere RO-Stufen (Umkehrosmose) und über einen Ionentauscher oder gleichwertig kontrolliert hergestellt wird. Dabei werden die mineralischen (meist ionischen) Wasserverunreinigungen gezielt entfernt, wobei i. Allg. elektrische Restleitwerte (Elektrischer Widerstand) von ca. 0,5–0,1 µS/cm (entsprechend elektrischer Widerstand 2–10 MΩcm) erzielt werden. Diese gereinigten Wässer sind in der Regel nicht entgast und auch hinsichtlich organischer Verunreinigungen (TOC-Anteil) nicht besonders vorbehandelt.
In einem Wärmetauscher – meist aus austenitischer Edelstahllegierung – wird das Reinwasser je nach benötigtem Dampfdruck auf 130–180 °C erwärmt, wodurch (entgaster) Reindampf entsteht.
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