Engl. Scanning Electron Microscopy, Abk.: SEM.
Indirekte mikroskopische Betrachtung unter Nutzung der Beugung von Elektronenstrahlen mittels eines Rasterelektronenmikroskops. Die Rasterelektronenmikroskopie liefert äußerst kontrastierte und tiefenscharfe photographische Auflichtaufnahmen bis zu 10.000-facher Vergrößerung.
Die Rasterelektronenmikroskopie und die Energiedispersive Röntgenanalytik (EDX) auf der Basis der Röntgenstrahlemissionsanalyse sind meist in einem technischen Gerät kombinierte Analyseverfahren, da dies z. B. die Möglichkeit gibt, im mikroskopischen Bild erkannte morphologische Einschlüsse bzw. strukturelle Inhomogenitäten als typische Punkt- oder Spotanalyse umgehend elementar zu analysieren.
Bei der praktischen Analyse werden kleine Probenelemente des zu untersuchenden Bauteils (deshalb meist zerstörende Werkstoffprüfung) nach entsprechender Oberflächenpräparation in eine Vakuumkammer eingebracht. Elektrisch leitende Oberflächen können direkt analysiert werden. Isolierende Stoffe werden zur Analyse meist mit Gold bedampft.
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