Die Qualität hochreiner Spülgase für technische Prozesse, wie Ar, N2 etc., wird durch den Anteil an zulässigen Verunreinigungen festgelegt. Zulässige gasige Verunreinigungen nach Semaspec sind z. B. H2O: ≤ 0,5 ppm, Kohlenwasserstoffe (CWS): ≤ 0,5 ppm, Edelgase: ≤ 1 ppm.
Darüber hinaus werden diese Gasqualitäten auch hinsichtlich der zulässigen festen Partikel begrenzt, z. B. < 1 Partikel/Kubikfuß (pcs/qft).
Die Benennungssystematik für die Qualität hochreiner Gase beschreibt also einerseits die Partikelreinheit mit maximaler Anzahl von Partikeln (der Größe > 0,1 µm) pro Kubikfuß und andererseits die Reinheit bezüglich Begleitgasen mit dem prozentualen Reinheitsgrad. Der Reinheitsgrad wird mittels zweier durch einen Punkt getrennter Ziffern angegeben, wobei die 1. Ziffer die Anzahl der Neunen und die 2. Zahl die erste von neun abweichende Dezimalzahl in der prozentualen Angabe des Mindestgehalts an reinem Gas angibt (Tab. G 2).
Das hochreine Spülgas Ar für technisch sensible Prozesse wird betreffend der Gasqualität (Reinheit), z. B. mit 6.0 Ar bezeichnet. Dies bedeutet 99,99990 % reines Ar.
Schweiß- und Formiergase für sehr sensible Schweißoperationen werden üblicherweise mit Qualität 6.0 festgelegt, wodurch die Herstellung besonders hochwertiger Schweißnähte erreicht werden kann.
© 2013 – ECV – Lexikon der Pharmatechnologie