Methode der Elektronenstrahlmikroanalyse, bei der Probenmaterial gezielt mit Elektronen bestrahlt wird. Die dadurch verursachte temporäre Ionisierung führt zur Emission von Röntgenstrahlen aus der K-Schale der Probenatome und wird in geeigneter Weise erfasst, gemessen und zur Bestimmung der elementaren Zusammensetzung der Probe herangezogen.
Die Analysentechnik wird gerätetechnisch meist mit der Rasterelektronenmikroskopie verbunden und erlaubt die reproduzierbare kleinflächige (Punkt-)Analyse der elementaren Zusammensetzung von Werkstoffen, z. B. von Schweißnähten und deren punktförmigen Verunreinigungen (lokale Schlackebildung) oder Einschlüssen (z. B. Al2O3–Oberflächeneinschlüsse in der Legierungsstruktur). Als Ergebnis der Untersuchung werden die rasterelektronenmikroskopische Aufnahme und das zugehörige EDX-Diagramm (Röntgenspektrum) des untersuchten Materialpunkts aufgezeichnet (Beispiel: siehe Abb. A 9 unter Aufkohlen).
© 2013 – ECV – Lexikon der Pharmatechnologie