Physikalische Analysenmethode zur Oberflächenanalyse auf der Basis von Auger-Elektronen. Die Auger-Analyse dient der Ermittlung der elementaren Tiefenprofile von Edelstahloberflächen zur Bestimmung der Passivschichtdicke und arbeitet auf der physikalischen Basis der erzwungenen Emission von Auger-Elektronen durch Röntgen-Fluoreszenz.
Der Messvorgang erfolgt in der Weise, dass elektromagnetische Strahlung, erzeugt mittels Röntgen-Fluoreszenz, auf die Prüfoberfläche (Edelstahlprüfoberfläche) trifft und dort Elektronen aus der K-Schale (Auger-Elektronen) und teilweise aus der M-Schale schießt. Diese Elektronenemission wird vom Analysator aufgenommen und aufgezeichnet.
Entsprechend dem Energiespektrum für die in der Legierung enthaltenen Elemente können nun über an der Probeoberfläche detektierte Elemente in Art und Menge (Atomkonzentration oder durch Umrechnung über die Atomgewichte in Prozent der Stoffmenge) entsprechende qualitative und quantitative Zuordnungen getroffen werden.
Danach werden von der Oberfläche z. B. gezielt 5 Å (Angström = 10-10 m) mittels Ar-Ionen abgesputtert und sodann der Analysenprozess wiederholt. Durch wiederholtes Absputtern und Analysieren wird so ein Elemententiefenprofil (z. B. C, O2, Fe, Cr, Ni, Mo) als typisches Auger-Messergebnis erzeugt. Die Kalibrierung der Auger-Analyse erfolgt in der Regel mittels Tantalpentoxid (Ta2O5).
© 2013 – ECV – Lexikon der Pharmatechnologie