Auch: engl. X-Ray Photoelectron Spectroscopy, Abk.: XPS.
Analysenmethode für feste Oberflächen von Stoffen auf Basis der Atomspektroskopie.
Bei der praktischen Messung / Analyse werden Mikroflächen der zu prüfenden Oberflächen mit Elektronen gezielt beschossen, was zu einer Elektronenemission durch Fotoionisation (Ionisierung der L-Schale von Elementen) führt. Dabei werden über die spezifischen Bindungsenergiebanden sowohl die Elemente in Art und Menge als auch die Bindungsformen (Valenzbindungen) reproduzierbar detektiert und Summen- wie Strukturformeln definiert. Die ESCA-Analyse wird neben der Auger-Analyse vor allem zur Ermittlung der Morphologie der chromoxidreichen Passivschicht bzw. des Cr / Fe-Verhältnisses der Passivschicht verwendet, wobei die Präparationsmethoden exakt definiert werden müssen, um vergleichbare Messwerte zu erzielen.
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